Equipements utilisés le dépôt de films minces

PLD

  • Bâti ablation laser pul : enceint haut vide avec carroussel 8 cibles, laser nanoseconde Nd : YAG (Continium powerlite DLS8010), chauffage substrat via Thermocoax (T.max = 800°C) et système de diffraction d'électrons à incidence rasante RHEED (Specs RHD-NAP).  

  Pulvérisation cathodique

  • Bâti de pulvérisation cathodique radiofréquence Plassys MP300, avec 2 cibles métalliques (1 pouce en or et 2 pouces en chrome)

 

Bâti ablation laser

Directeur du Laboratoire

Guilhem DEZANNEAU Téléphone : +33 01 75 31 64 20 Courriel : guilhem.dezanneau at centralesupelec.fr

Directeur adjoint

Pietro CORTONA Téléphone : +33 01 75 31 66 22 Courriel : pietro.cortona at centralesupelec.fr